[发明专利]利用飞秒激光在玻璃基底上制备微流体光波导的方法无效
| 申请号： | 200710044173.3 | 申请日： | 2007-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101101356A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 何飞;孙海轶;程亚;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用飞秒激光在玻璃基底上制备微流体光波导的方法，包括下列步骤：①飞秒刻蚀：将玻璃基底固定在电动平移台上，调节飞秒激光通过显微物镜聚焦后对玻璃芯片表面进行辐照，通过计算机移动电动平移台，使玻璃表面产生烧蚀线，形成样品；②超声清洗：加工完毕后，取下样品并置于盛有无水酒精的超声波清洗仪中清洗，使样品的烧蚀线成为内壁光滑的微通道；③注入液芯：对样品的微通道注入折射率高于玻璃基底的流体试剂便制得了所需的流体光波导。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 玻璃 基底 制备 流体 波导 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用飞秒激光在玻璃基底上制备微流体光波导的方法，特征在于包括下列步骤：①飞秒刻蚀：将玻璃基底固定在电动平移台上，调节飞秒激光通过显微物镜聚焦后对玻璃芯片表面进行辐照，通过计算机移动电动平移台，使玻璃表面产生烧蚀线，形成样品；②超声清洗：加工完毕后，取下样品并置于盛有无水酒精的超声波清洗仪中清洗15-20分钟，使样品的烧蚀线成为内壁光滑的微通道；③注入液芯：对样品的微通道注入折射率高于玻璃基底的流体试剂便制得所需的流体光波导。
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