[发明专利]利用飞秒激光在玻璃基底上制备微流体光波导的方法无效
| 申请号： | 200710044173.3 | 申请日： | 2007-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101101356A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 何飞;孙海轶;程亚;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 激光 玻璃 基底 制备 流体 波导 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种利用飞秒激光在玻璃基底上制备微流体光波导的方法，特征在于包括下列步骤：
①飞秒刻蚀：将玻璃基底固定在电动平移台上，调节飞秒激光通过显微物镜聚焦后对玻璃芯片表面进行辐照，通过计算机移动电动平移台，使玻璃表面产生烧蚀线，形成样品；
②超声清洗：加工完毕后，取下样品并置于盛有无水酒精的超声波清洗仪中清洗15-20分钟，使样品的烧蚀线成为内壁光滑的微通道；
③注入液芯：对样品的微通道注入折射率高于玻璃基底的流体试剂便制得所需的流体光波导。
2、根据权利要求1所述的利用飞秒激光在玻璃基底上制备微流体光波导的方法，特征在于所述的注入液芯的具体过程，先调配流体试剂，将具有不同折射率的石蜡油和α-一溴代萘按体积比例混合调配而成，该试剂的折射率的范围为：1.52～1.658；然后使用移液枪将调配好的试剂注入微通道，然后用洗耳球吹去微通道周围残留的试剂。
3、根据权利要求2所述的利用飞秒激光在玻璃基底上制备微流体光波导的方法，特征在于利用调节所述的试剂的折射率，以获得多模光波导或单模光波导。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710044173.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：对蓝牙电话网关外线号码信息进行设置和获取的方法
- 下一篇：电动车自动变速器
