[发明专利]薄膜应力测量装置及其测量方法无效
| 申请号： | 200710038989.5 | 申请日： | 2007-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101029849A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 申雁鸣;袁磊;邵淑英;范正修;贺洪波;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01B11/255 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种薄膜应力测量装置及其测量方法，该装置包括激光器、供待测基片设置的精密电动导轨及其控制器、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机，所述的激光器、精密电动导轨、光电位敏探测器和A/D数据采集卡安装在一平台上，所述的激光器发出的光束照射到待测基片表面，在待测基片的反射光束方向是光电位敏探测器，该光电位敏探测器的输出端经所述的A/D数据采集卡与所述的计算机的输入端相连。本发明具有结构简单、精确度高、非接触测量、操作简便、价格低廉等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 应力 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜应力测量装置，其特征在于该装置包括激光器(1)、供待测基片(2)设置的精密电动导轨(6)及其控制器(7)、光电位敏探测器(3)、A/D数据采集卡(4)和计算机(5)，所述的激光器(1)、精密电动导轨(6)、光电位敏探测器(3)和A/D数据采集卡(4)安装在一平台(8)上，所述的激光器(1)发出的光束照射到待测基片(2)表面，在待测基片(2)的反射光束方向是光电位敏探测器(3)，该光电位敏探测器(3)的输出端经所述的A/D数据采集卡(4)与所述的计算机(5)的输入端相连。
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