[发明专利]薄膜应力测量装置及其测量方法无效
| 申请号： | 200710038989.5 | 申请日： | 2007-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101029849A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 申雁鸣;袁磊;邵淑英;范正修;贺洪波;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01B11/255 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 应力 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【说明书】：
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