[发明专利]一种制备氧化锌纳米结构的方法有效
| 申请号： | 200710032889.1 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101214989A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 许宁生;佘峻聪;何浩;刘俊;邓少芝;陈军 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02;B82B3/00 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于工艺步骤如下：(A)在沉积有种子层的衬底上涂敷一层光敏胶，然后利用光刻工艺在光敏胶上形成微孔；(B)将完成步骤(A)后的衬底置于生长溶液中，进行纳米结构的生长。利用该工艺方法，可成功地实现了多种氧化锌纳米结构的制作。与现有技术相比，本工艺方法具有工艺步骤简单可控的特点，制备出来的氧化锌纳米结构位置可控、直立有序、形貌均一，非常有利于器件的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氧化锌 纳米 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于工艺步骤如下：(A)在沉积有种子层的衬底上涂敷一层光敏胶，然后利用光刻工艺在光敏胶上形成微孔；(B)将完成步骤(A)后的衬底置于生长溶液中，进行纳米结构的生长。
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