[发明专利]一种制备氧化锌纳米结构的方法有效
| 申请号： | 200710032889.1 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101214989A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 许宁生;佘峻聪;何浩;刘俊;邓少芝;陈军 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02;B82B3/00 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氧化锌 纳米 结构 方法 | ||
1.一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于工艺步骤如下：
(A)在沉积有种子层的衬底上涂敷一层光敏胶，然后利用光刻工艺在光敏胶上形成微孔；
(B)将完成步骤(A)后的衬底置于生长溶液中，进行纳米结构的生长。
2.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：步骤(A)中所述的衬底材料为金属、半导体、玻璃片或陶瓷片，或者表面镀有金属膜的半导体、玻璃片或陶瓷片。
3.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：步骤(A)中所述的种子层为金属锌膜或氧化锌膜。
4.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：步骤(A)中沉积种子层的方法为磁控溅射或电子束蒸发。
5.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：步骤(A)中所述的光敏胶为光刻胶或纳米压印胶。
6.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：步骤(A)中所述的光刻工艺为电子束光刻或纳米压印工艺。
7.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：步骤(B)中所述的生长溶液为含有锌离子源的盐溶液。
8.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：在所述步骤(B)中生长纳米结构时，样品是悬空倒置于溶液中，即衬底镀有种子层的面向下。
9.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于：可以通过调整光刻工艺和生长时间来控制氧化锌纳米结构的形貌，从而得到纳米尖、纳米线、纳米柱和纳米Y结等。
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