[发明专利]具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法有效

专利信息
申请号: 200710024821.9 申请日: 2007-06-29
公开(公告)号: CN101096080A 公开(公告)日: 2008-01-02
发明(设计)人: 朱永伟;左敦稳;徐锋;黎向锋;沈建良;邵建兵;郭魂 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: B24D3/32 分类号: B24D3/32;B24D18/00
代理公司: 南京苏高专利事务所 代理人: 阙如生
地址: 210016*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法,涉及超精密研磨与抛光加工技术领域。其特征在于其磨料层(1)组分及质量百分比如下:粒度在1纳米~40微米的磨料1~20%,聚丙烯酸酯类的预聚物20~80%,自由基光引发剂1~3%,聚二甲基硅氧烷/丙烯酸聚合物0~2%,体系交联密度性能调节添加剂0~20%,丙烯酸酯化的活性稀释剂5~40%。其制备过程为:(1)原料充分混合均匀;(2)预备刚性聚合物基体;(3)采用丝网印刷法均匀涂抹;(4)通过紫外光固化机固化。本发明的研磨抛光性能稳定,具有自修正功能,适用于精密加工。
搜索关键词: 具有 修正 功能 固结 磨料 研磨 抛光 制备 方法
【主权项】:
1、一种具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫,由磨料层(1)、刚性层(2)组成,其特征在于所述的磨料层(1)组份及质量百分比如下:粒度在1纳米~40微米的磨料 1~20%聚丙烯酸酯类的预聚物 20~80%自由基光引发剂 1~3%聚二甲基硅氧烷/丙烯酸聚合物 0~2%体系交联密度性能调节添加剂 0~20%丙烯酸酯化的活性稀释剂 5~40%
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