[发明专利]具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫及制备方法

权利要求书

1、一种具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫，由磨料层(1)、刚性层(2)组成，其特征在于所述的磨料层(1)组份及质量百分比如下：

粒度在1纳米～40微米的磨料          1～20％

聚丙烯酸酯类的预聚物               20～80％

自由基光引发剂                     1～3％

聚二甲基硅氧烷或丙烯酸聚合物       0～2％

体系交联密度性能调节添加剂         0～20％

丙烯酸酯化的活性稀释剂             5～40％。

2、根据权利要求1所述的有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫，其特征在于：所述的磨料为经过机械化学表面改性，实现表面亲水性向亲油性转变的磨料。

3、根据权利要求1所述的具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫，其特征在于：所述的刚性层(2)还粘贴有弹性层(3)。

4、一种权利要求1所述的具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)、将磨料、聚丙烯酸酯类预聚物、丙烯酯酯化的活性稀释剂与自由基光引发剂、性能调节添加剂、聚二甲基硅氧烷或丙烯酸聚合物组份充分混合均匀，得到混合物；

(2)、准备一块处理干净的刚性聚合物基体；

(3)、采用丝网印刷的方法将上述混合物均匀地涂抹在刚性聚合物基体上；

(4)、通过紫外光固化机，使上述混合物固化。

5、根据权利要求4所述的具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫的制备方法，其特征在于：所述的步骤还包括在所述第(1)步之前，提前将所述磨料通过机械化学表面改性，实现磨料表面从亲水性向亲油性的转变，使磨料与聚合物体系有较好的相容性这一过程。

6、根据权利要求4所述的具有自修正功能的固结磨料研磨抛光垫的制备方法，其特征：所述的步骤还包括在所述第(4)步之后，在刚性层上再粘贴一层弹性层这一步骤。