[发明专利]光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置及方法无效
| 申请号： | 200710023845.2 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101078885A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 汤伟平;刘文海 | 申请（专利权）人： | 芯硕半导体（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/00;F21V7/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230601安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置，其特征在于包括有一个积分球，在积分球上有一个或多个光线投射口，积分球上有出光口，出光口靠近光线投射口一侧内壁上有遮光挡板，所述的光线投射口上安装有发光光源，或者有发光光源发出的光线从光线投射口进入积分球内，从积分球出光口发出的光经过光学聚光和投影的照明光学器件，把相应的均匀稳定的等效平面光源投影到光刻装置的图形发生器上。发光光源的能量进入积分球器件内，通过多次的反射而被均匀化，在积分球器件的出射口处产生均匀稳定的光发射的等效平面光源。通过聚光和投影的照明光学器件，投影到光刻装置的图形发生器上，以取得预期的均匀照明效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 技术 提供 均匀 稳定 光源 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置，其特征在于包括有一个积分球，在积分球上有一个或多个光线投射口，积分球上有出光口，出光口靠近光线投射口一侧内壁上有遮光挡板，所述的光线投射口上安装有发光光源，或者有发光光源发出的光线从光线投射口进入积分球内，从积分球出光口发出的光经过光学聚光和投影的照明光学器件，把相应的均匀稳定的等效平面光源投影到光刻装置的图形发生器上。
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