[发明专利]光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置及方法

权利要求书

1.光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置，其特征在于包括有一个积分球，在积分球上有一个或多个光线投射口，积分球上有出光口，出光口靠近光线投射口一侧内壁上有遮光挡板，所述的光线投射口上安装有发光光源，或者有发光光源发出的光线从光线投射口进入积分球内，从积分球出光口发出的光经过光学聚光和投影的照明光学器件，把相应的均匀稳定的等效平面光源投影到光刻装置的图形发生器上。

2.根据权利要求1所述的光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置，其特征在于所述的发光光源为一个或多个的非均匀的光源，是发光二极管，或半导体激光器，或弧光灯，或者其任意的组合。

3.根据权利要求1所述的光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置，其特征在于所述的积分球为一个球状腔体，或者是多个相互联通的球状腔体的集合。

4.根据权利要求1所述的光刻技术中提供均匀稳定的面光源的装置，其特征在于所述的光线投射口位于出光口非正对位置。

5.光刻技术中提供均匀稳定的面光源的方法，其特征在于在一个或相互联通的多个积分球上，安装一个或多个发光源，并设置出光口，使得多个光源发出的光在积分球内经过多次反射后，从出光口发出的光成为一个等效的理想均匀的发光面光源，经过光学聚光和投影的照明光学器件，投影到光刻装置的图形发生器上。

6.根据权利要求1所述的光刻技术中提供均匀稳定的面光源的方法，其特征在于所述的发光光源为一个或多个的非均匀的光源，是发光二极管，或半导体激光器，或弧光灯，或者其任意的组合。

7.根据权利要求1所述的光刻技术中提供均匀稳定的面光源的方法，其特征在于所述的聚光和投影的照明光学器件可以是临界照明方式，或者是柯拉照明方式。