[发明专利]成膜装置

摘要

一种成膜装置，能够有效地在基板等表面形成碳膜、提高带碳膜基板的批量生产性。本发明的成膜装置，其是真空槽内配置电极、往真空槽内部导入成膜气体，同时对电极外加电压，将该成膜气体等离子化，在基板上成膜，这种成膜装置的构成是包括：作为上述电极的筒状电极，其具有基板供给口和排出口；基板供给排出装置，其通过上述筒状电极的供给口向该筒状电极内部供给多个基板、同时将其从该筒状电极的排出口排出。

主权项

1.一种成膜装置，其在真空槽内配置电极，向真空槽内部导入成膜气体，并且对电极外加电压，将该成膜气体等离子化，从而在基板上成膜，上述成膜装置的特征在于，包括：作为上述电极的筒状电极，其具有基板的供给口和排出口；基板供给排出装置，其通过上述筒状电极的供给口向该筒状电极内部供给多个基板，并且将上述多个基板从该筒状电极的排出口排出。