[发明专利]具有柔顺性端子安装装置的微电子元件及其制造方法有效
| 申请号: | 200680049384.X | 申请日: | 2006-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN101346812A | 公开(公告)日: | 2009-01-14 |
| 发明(设计)人: | B·哈巴;I·穆罕默德;C·S·米切尔;M·沃纳;J·B·汤普森 | 申请(专利权)人: | 泰塞拉公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 邬少俊;王英 |
| 地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 通过模制工艺形成电介质结构,以便通过与模具接触使电介质结构的第一表面(32,432)成形。将电介质结构的相对的第二表面(34,434)施加到晶片元件(38,438)的正表面上。电介质结构可以包括突出的突起(30,130,230)并且可以在突起上形成端子(44,144,244)。突起具有精确的高度。端子位于晶片元件的正表面之上的精确控制的高度处。所述端子可以包括在环绕的焊料掩模层(248,448)之上延伸的突出柱(213,413)以有助于与测试夹具的接合。当将该结构结合到电路板时将柱浸入在焊接结点(274)内。 | ||
| 搜索关键词: | 具有 柔顺 端子 安装 装置 微电子 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种制造芯片组件的方法,包括:(a)形成电介质结构以便通过模具的工作表面使所述电介质结构的第一表面成形;(b)将所述电介质结构转移到包括一个或多个芯片区的晶片元件的表面上,以便所述电介质结构的第一表面背对所述晶片元件,而所述电介质结构的第二表面面向所述晶片元件;(c)在所述电介质结构的所述第一表面上设置端子;以及(d)将所述端子电连接到所述晶片元件的触点。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





