[发明专利]磁阻效应元件及其制造方法无效
申请号: | 200680047653.9 | 申请日: | 2006-12-20 |
公开(公告)号: | CN101331568A | 公开(公告)日: | 2008-12-24 |
发明(设计)人: | 福泽英明;汤浅裕美;藤庆彦;岩崎仁志 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01F41/30 | 分类号: | H01F41/30;H01L43/08;H01L43/12 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 | 代理人: | 丁利华 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种磁阻效应元件,通过下述方法制造:形成第一磁性层;在第一磁性层上形成的包括绝缘层和导电层的间隔层,该导电层穿过绝缘层并传导电流;和在形成的间隔层上形成的第二磁性层,该第二磁性层的全部或部分用离子、等离子体或加热来处理。 | ||
搜索关键词: | 磁阻 效应 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种磁阻效应元件的制造方法,包括:形成第一磁性层;在所述第一磁性层上形成包括绝缘层和导电层的间隔层,所述导电层透过绝缘层并传导电流;以及在形成的所述间隔层上形成第二磁性层,所述第二磁性层的全部或部分用离子、等离子体或加热来处理。
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