[发明专利]一种用于运输和存储半导体基片的密封封闭体

摘要

本发明涉及一种用于运输和存储半导体基片的密封的封闭体，该封闭体包括密封的容纳部和位于容纳部内的支承机构，且包括用于支承基片的托架。所述容纳部包括两个接触的半壳，所述半壳可被分开以打开容纳部，所述支承机构的每一端分别机械地固定在所述半壳中对应的一个上。所述机构的总高度依赖于容纳部的打开或关闭而变化，所述托架以相等的距离彼此隔开。所述支承机构优选地包括区段和球窝接头的交替布置结构，该交替布置结构具有分别机械地连接在所述半壳中对应的一个上的端部区段。在这种情况下，所述支承机构的总高度由于区段和球窝接头的交替布置结构的折叠运动而改变。

主权项

1.一种用于运输和存储半导体基片的密封封闭体，该封闭体包括一密封的容纳部和位于所述容纳部中的支承机构，并包括用于支承所述基片的托架，该封闭体的特征在于，所述容纳部包括两个接触的半壳，所述半壳分开以打开所述容纳部；所述支承机构的每一端分别机械地固定在所述半壳中对应的一个上。