[发明专利]硅锗氢化物以及制造和使用其的方法无效
| 申请号： | 200680043750.0 | 申请日： | 2006-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101384506A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | J·库韦塔基斯;C·J·里特三世 | 申请（专利权）人： | 亚利桑那董事会;代表亚利桑那州立大学行事的法人团体 |
| 主分类号： | C01B6/06 | 分类号： | C01B6/06;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李 帆 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了硅锗氢化物化合物，它们的合成方法，它们的沉积方法和使用所述化合物制成的半导体结构。所述化合物由下式限定：SiHn1(GeHn2)y，其中y是2、3或4，其中n1是0、1、2或3以满足化合价，且其中对于该化合物中的每个Ge原子，n2独立地为0、1、2或3以满足化合价。 | ||
| 搜索关键词： | 氢化物 以及 制造 使用 方法 | ||
【主权项】：
1. 式I的化合物SiHn1(GeHn2)y，其中y是2、3或4；其中n1是0、1、2或3以满足化合价；且其中对于该化合物中的每个Ge原子，n2独立地为0、1、2或3以满足化合价。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚利桑那董事会;代表亚利桑那州立大学行事的法人团体，未经亚利桑那董事会;代表亚利桑那州立大学行事的法人团体许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680043750.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
