[发明专利]从基材上除去材料的方法

摘要

从基材(18)除去材料优选光致抗蚀剂的方法包括：以有效基本上均匀涂覆该材料涂覆的基材的量将包含硫酸和/或其干燥物质和前体并具有不大于5∶1的水/硫酸摩尔比的液体硫酸组合物散布到该材料涂覆的基材上。优选地，在该液体硫酸组合物的散布之前、期间或之后，将基材加热到至少大约90℃的温度。在该基材处于至少大约90℃的温度下后，将该液体硫酸组合物暴露到水蒸汽中，该水蒸汽的量有效将该液体硫酸组合物的温度增加到大于该液体硫酸组合物在暴露到该水蒸汽中之前的温度。然后优选冲洗该基材以除去该材料。

主权项

1.从基材上除去材料的方法，包括a)将其表面上具有材料的基材放入处理室；b)以能有效地基本上均匀地涂覆该基材表面的量将包含硫酸和/或其干燥物质和前体的液体硫酸组合物散布到该基材表面上；和c)将该液体硫酸组合物暴露在水蒸汽中，该水蒸汽的量能有效地将该液体硫酸组合物的温度增加到大于该液体硫酸组合物在暴露到该水蒸汽中之前的温度；其中在暴露到水蒸汽中时该液体硫酸组合物具有不大于大约5∶1的水/硫酸摩尔比。