[发明专利]从基材上除去材料的方法

权利要求书

1.从基材上除去材料的方法，包括

a)将其表面上具有材料的基材放入处理室；

b)以能有效地基本上均匀地涂覆该基材表面的量将包含硫酸和 /或其干燥物质和前体的液体硫酸组合物散布到该基材表面上；和

c)将该液体硫酸组合物暴露在水蒸汽中，该水蒸汽的量能有效 地将该液体硫酸组合物的温度增加到大于该液体硫酸组合物在暴露 到该水蒸汽中之前的温度；其中在暴露到水蒸汽中时该液体硫酸组 合物具有不大于5∶1的水/硫酸摩尔比。

2.权利要求1的方法，其中将该液体硫酸组合物暴露到水蒸汽中，该 水蒸汽的量能有效地将在该基材表面上的液体硫酸组合物的温度增 加到同时大于(i)该基材上的液体硫酸组合物在暴露到该水蒸汽中 之前的温度和(ii)该水蒸汽的温度。

3.权利要求1的方法，其中在暴露到水蒸汽中时该液体硫酸组合物具 有不大于2∶1的水/硫酸摩尔比。

4.权利要求1的方法，其中在该液体硫酸组合物的散布期间或之后将 氧化剂引入该处理室。

5.权利要求1的方法，其中在散布该液体硫酸组合物之前，期间或之 后但是在将该液体硫酸组合物暴露于水蒸汽中之前，将该基材加热 到至少90℃的温度。

6.权利要求1的方法，其中提供在80℃-110℃的温度下的水蒸汽。

7.权利要求1的方法，其中在暴露到该水蒸汽中之前在130℃-200℃ 的温度下散布该液体硫酸组合物。

8.权利要求1的方法，其中该材料是光致抗蚀剂。

9.权利要求1的方法，其中在该液体硫酸组合物暴露到该水蒸汽中之 前停止散布该液体硫酸组合物。

10.权利要求1的方法，其中以多个离散脉冲将该液体硫酸组合物散布 到该基材表面上。

11.权利要求1的方法，其中在该液体硫酸组合物的散布期间和/或之 后，且在该液体硫酸组合物暴露到该水蒸汽中的期间该基材是不移 动的或是以小于20rpm的速度旋转的。

12.权利要求1的方法，其中在该液体硫酸组合物散布到该基材表面上 的期间该基材是旋转的，并且通过以偏离该基材旋转中心的角度喷 射该液体来散布该液体硫酸组合物。

13.权利要求1的方法，其中在该液体硫酸组合物散布到该基材表面上 的期间该基材是旋转的，并且通过按摆动方式以相对于该基材的旋 转中心变化的角度喷射该液体来散布该液体硫酸组合物。

14.权利要求1的方法，其中该水蒸汽是在该处理室外部产生的，并按 所需的水蒸汽形式引入该处理室。

15.权利要求1的方法，其中将该液体硫酸组合物作为雾化喷剂散布到 该基材表面上。

16.权利要求1的方法，其中将该液体硫酸组合物加热，并在该液体硫 酸组合物暴露到水蒸汽中之前将过氧化氢添加到该液体硫酸组合物 中。

17.从基材上除去材料的设备，包括

a)其内接收具有表面的基材的处理室；

b)包含硫酸和/或其干燥物质和前体的液体硫酸组合物的源；

c)与该液体硫酸的源流体连接的并经布置用来将液体硫酸组 合物散布到基材表面上的管道或者中心喷射杆或者侧面喷射杆，或 者中心喷射杆和侧面喷射杆两者的组合；

d)经布置用于在处理室中散布水蒸汽以使该液体硫酸组合物 暴露到水蒸汽中的管道或水柱或蒸汽形成设备，该水蒸汽的量能有 效地将该液体硫酸组合物的温度增加到大于该液体硫酸组合物在暴 露到该水蒸汽中之前的温度；

其中该管道或水柱或蒸汽形成设备将为该液体硫酸组合物提 供水蒸汽以致在暴露到水蒸汽中时该液体硫酸组合物具有不大于5∶ 1的水/硫酸摩尔比。

18.权利要求17的设备，其中该蒸汽形成设备包括加热器和搅拌器中的 至少一个。