[发明专利]用于动态探针调节的方法和装置有效
| 申请号： | 200680042088.7 | 申请日： | 2006-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101305288A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | R·J·卡斯勒;杜峰烈;S·C·富勒顿 | 申请（专利权）人： | 伊智科技公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于在变化的条件下将探针与半导体设备的测试用衬垫或焊接衬垫自动对准的改进的方法和装置。一种动态模型被使用以预测变化的条件对晶片探测过程的影响。这减少了在探测和测试期间对频繁的测量和校准的需要，由此增加了在给定的时间周期中能够被探测和测试的晶粒数量，且同时增加了探测的精确度。还可以在探针和衬垫彼此接触的同时响应于变化的条件来调节探针和衬垫的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 动态 探针 调节 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于在条件充分变化后在探测器中相对于多个电触点中的至少一个电触点来动态定位多个接触电极中的至少一个接触电极的方法，该方法包括：预测所述多个接触电极中的至少一个接触电极关于所述多个电触点中的至少一个电触点的位置的相对位置，该相对位置作为时间的函数；以及基于所述预测而使所述至少一个接触电极与所述至少一个电触点中的一者相对于彼此移动。
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