[发明专利]MEMS电容器麦克风及制造方法、箔片叠层、电子设备及使用

摘要

本发明涉及一种制造MEMS电容器麦克风的方法，还涉及这种MEMS电容器麦克风。使用该方法，通过将具有传导层(11a、11b)的预处理的箔片(10)堆叠在至少一个面上，来制造MEMS电容器麦克风。在堆叠之后，使用压力和热力来密封该箔片(10)。最后将MEMS电容器麦克风与叠层(S)相分离。箔片的预处理(优选地通过激光束来完成)包括所选择的下列步骤：(A)保持箔片不变，(B)局部地除去传导层，(C)除去传导层并部分地除去箔片(10)，以及(D)除去传导层以及箔片(10)，从而在箔片中产生孔。与所述堆叠相结合可能创建腔和膜。这开发了制造MEMS电容器麦克风的可能性。

主权项

1、一种制造具有间隔(110)的MEMS电容器麦克风(MI)的方法，所述方法包括下列步骤：-提供至少两个电绝缘的弹性箔片的组(S)，其中传导层位于至少一个箔片的至少一个面上，并且其中所述传导层适合于用作电极或导体；-对传导层进行图形化，以便形成电极或导体；-以形成开口这种方式对至少一个箔片进行图形化，所述开口形成了MEMS电容器麦克风的间隔；-堆叠箔片的组(S)，从而形成所述MEMS电容器麦克风；以及-将所述箔片接合在一起，其中在当两个相邻箔片互相接触时两个相邻箔片的箔片材料之间的至少一个传导层已经被除去的位置处，将所述箔片粘合在一起。