[发明专利]MEMS电容器麦克风及制造方法、箔片叠层、电子设备及使用

权利要求书

1.一种制造具有间隔(110)的MEMS电容器麦克风(MI)的 方法，所述方法包括下列步骤：

-提供至少两个电绝缘的弹性箔片的组(S)，其中传导层位于 至少两个箔片的至少一个面上，并且其中所述传导层适合于用作电极 或导体；

-对传导层进行图形化，以便形成电极或导体；

-以形成开口这种方式对至少一个箔片进行图形化，所述开口 形成了MEMS电容器麦克风的间隔；

-堆叠箔片的组(S)，从而形成所述MEMS电容器麦克风；以及

-将所述箔片接合在一起，其中在当两个相邻箔片互相接触时 两个相邻箔片的箔片材料之间的至少一个传导层已经被除去的位置 处，将所述箔片粘合在一起，

其中具有传导层的所述至少两个箔片的一个箔片限定了导电 膜，具有传导层的所述至少两个箔片的另一个箔片限定了具有在其中 形成的开口的导电背板。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供箔片的组 (S)，其中各个箔片包括同一类型的箔片材料。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供箔片的组(S)， 其中各个箔片具有基本相同的厚度。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，提供至少三个电 绝缘的弹性箔片。

5.根据权利要求1所述的方法，包括以下附加步骤：

-使用形成覆盖至少一个开口的一个面的膜的方式，来对至少 两个电绝缘的弹性箔片的第一弹性箔片进行图形化；

-使用在与所述开口接触的至少两个电绝缘的弹性箔片的第二 弹性箔片中存在至少一个孔的方式，来对第二弹性箔片进行图形化。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过激光(L1、 L2)、结合遮光板(20)或不结合遮光板(20)来执行所述图形化。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过将至少一个 箔片(10)缠绕在第一卷轴(70)上，来进行所述箔片的堆叠。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在箔片(10)被 缠绕在第一卷轴(70)上时从第二卷轴或卷(80)上展开所述箔片(10) 的过程中执行所述方法。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过在高温下对 堆叠的箔片施加压力，来执行所述箔片的接合，其中所述压力是在与 箔片相垂直的方向上施加的。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，通过在所述间 隔中施加高压，来获得在与结构中的间隔相邻的箔片上的所需压力。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在箔片的接合 发生之后，MEMS电容器麦克风与所述堆叠相分离。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，从由聚苯硫化 物(PPS)以及聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)组成的组中选择箔片材 料。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所使用的箔片 (10)具有1μm至5μm的厚度。

14.一种MEMS电容器麦克风(MI)，包括至少两个电绝缘的弹 性箔片的堆叠的组(S)，其中图形化的传导层位于至少两个箔片的 至少一个面上，并且其中所述传导层适合用作电极或导体；以形成开 口的方式来对至少一个箔片图形化，其中所述开口形成MEMS电容器 麦克风的间隔；并且在当两个相邻箔片互相接触时在两个相邻箔片的 箔片材料之间的至少一个传导层已被除去的位置处将箔片粘合在一 起，其中具有传导层的所述至少两个箔片的一个箔片限定了导电膜， 具有传导层的所述至少两个箔片的另一个箔片限定了具有在其中形 成的开口的导电背板。