[发明专利]等离子消减装置有效
| 申请号： | 200680040226.8 | 申请日： | 2006-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101296745A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | M·拉多尤 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12;B01D53/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;杨松龄 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种等离子消减装置包括气体室，这个气体室具有用于接收待由这个装置处理的气体的气体入口以及气体出口，这个气体室内表面的至少一部分由在处理含有含卤素化合物及水蒸汽的气体的过程中抗腐蚀的导电材料形成或涂覆有所述导电材料。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 消减 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子消减装置，包括气体室，所述气体室具有用于接收待由所述装置处理的气体的气体入口以及气体出口，所述气体室的内表面的至少一部分由在处理含有含卤素化合物及水蒸汽的气体的过程中抗腐蚀的导电材料形成或涂覆有所述导电材料。
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