[发明专利]等离子消减装置有效
| 申请号： | 200680040226.8 | 申请日： | 2006-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101296745A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | M·拉多尤 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12;B01D53/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;杨松龄 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 消减 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种微波等离子消减装置，包括：微波共振腔，其具有气体入口及气体出口；及波导件，其用于将微波辐射输送到所述共振腔，所述共振腔具有由钛形成或涂覆有钛的内表面。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述腔的内表面包括一层形成于外壳的内表面上的钛层，所述钛层至少部分地限定所述腔。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述外壳由不锈钢形成。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述腔至少部分地由用钛形成的外壳来限定。
5.如权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，包括伸入所述共振腔的导电部件，所述导电部件由钛形成或涂覆有钛。
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