[发明专利]一种用于在探测系统中改进定位的方法和设备

摘要

提供一种将晶片探测器自动并精确地对准到半导体装置的焊盘的改进的方法和设备。在本发明的一个方面的一个实施方式中，结合来自多个传感器信息的多回路反馈控制系统被用于在出现扰动的情况下维持期望接触位置。同样描述了其他方面和其他实施方式。

主权项

1、一种用于维持多个接触电极和多个电接触之间的相对位置的测试系统，该测试系统包括：与第一部件相连接的第一传感器，该第一部件被配置以支持与所述多个电接触相连接的装置，其中所述第一传感器被配置以测量沿三维坐标系统的轴线的第一参数；与所述第一部件相连接的第二传感器，该第二传感器被配置以测量沿所述轴线的第二参数；以及与所述第一部件相连接的控制系统，该控制系统被配置以接收来自所述第一传感器和来自所述第二传感器的信息，且该控制系统被配置以基于所述信息确定致动力，且其中所述致动力作用在所述第一部件上以维持所述接触电极和所述电接触之间的期望相对位置。