[发明专利]用于检测电子束的暴露的导体件系统和方法有效
| 申请号： | 200680039939.2 | 申请日： | 2006-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN101297218A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 拉尔斯·奥克·内斯隆德;汉斯·哈尔斯坦迪斯;安德斯·克里斯蒂安松;安德斯·赫德斯·奥尔松 | 申请（专利权）人： | 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/18 | 分类号： | G01T1/18;H01J47/14 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 披露了一种用于检测沿路径产生的电子束(106)强度的检测器(104)。一种示例性的检测器包括连接到支撑件(112)的暴露的导体件(105)，该支撑件(112)配置为将该暴露的导体件(105)设置于电子束(106)路径内；与该暴露的导体件(105)隔离的接地导体件(107)，该导体件(107)部分围绕该暴露的导体件(105)，以形成等离子罩，该等离子罩具有窗口，该窗口至少设置在该电子束的方向上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 电子束 暴露 导体 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测沿路径产生的电子束(106)的强度的检测器(104；300)，其包括：连接到支撑件(112)的暴露的导体件(105；404)，该支撑件(112)配置为将该导体件设置于电子束(106)的路径内；以及与该暴露的导体件(105；404)隔离的第二导体件(107；402)，该导体件(107；402)连接到电压电位并部分围绕该暴露的导体件(105；404)以形成等离子罩，该等离子罩具有窗口，该暴露的导体件(105；404)通过该窗口暴露于电子束(106)，该窗口至少设置在该电子束路径的方向上。
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