[发明专利]感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体、以及图案形成装置和图案形成方法无效
| 申请号： | 200680033451.9 | 申请日： | 2006-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101263423A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 南一守;佐佐木义晴;若田裕一;高柳丘 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/033 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供相对于400～410nm波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响、图案再现性出色、图案形状的偏差被极度抑制并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物等。为此，该感光性组合物等的特征在于，至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感剂，该增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 图案 形成 材料 层叠 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感光性组合物，其特征在于，至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，所述增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂。
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