[发明专利]感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体、以及图案形成装置和图案形成方法

权利要求书

1.一种感光性组合物，其特征在于，

至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，

所述增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂。

2.如权利要求1所述的感光性组合物，其特征在于，

增感剂含有至少一种在340nm以上且不到405nm的波长区域具有最大吸收波长的增感剂和至少一种在405nm以上且500nm以下的波长区域具有最大吸收波长的增感剂。

3.如权利要求1或2所述的感光性组合物，其特征在于，

在380～420nm的波长区域具有光谱感光度的最大值，同时在400～410nm的区域中可以形成图案的最小曝光量S为210mJ/cm²以下，且在该区域的最小曝光量的最大值Smax和最小曝光量的最小值Smin满足下式Smax/Smin≤1.2。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

在380～420nm的波长区域具有光谱感光度的最大值，同时在400～410nm的区域中可以形成图案的最小曝光量S为50mJ/cm²以下，且在该波长区域的最小曝光量的最大值Smax和最小曝光量的最小值Smin满足下式Smax/Smin≤1.2。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

在380～420nm的波长区域具有光谱感光度的最大值，同时在400～410nm的区域中可以形成图案的最小曝光量S为50mJ/cm²以下，且在该波长区域的最小曝光量的最大值Smax和最小曝光量的最小值Smin满足下式Smax/Smin≤1.1。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

增感剂的最大吸收波长为380～420nm。

7.如权利要求1～6中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

增感剂是稠环系化合物。

8.如权利要求1～7中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

增感剂为选自吖啶酮化合物、吖啶化合物、噻吨酮化合物和香豆素化合物的至少1种。

9.如权利要求1～8中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

增感剂的含量相对于感光性组合物的总量为0.1～10质量％。

10.如权利要求1～9中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

光聚合性引发剂包含选自卤代烃衍生物、氧化膦、六芳基联二咪唑、肟衍生物、有机过氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳香族鎓盐和金属茂类的至少1种。

11.如权利要求1～10中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

聚合性化合物包含具有尿烷基和芳基中的至少一种基团的单体。

12.如权利要求1～11中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

粘合剂是具有酸性基团和聚合性基团的化合物。

13.如权利要求12所述的感光性组合物，其特征在于，

粘合剂至少包含环氧丙烯酸酯化合物。

14.如权利要求12或13所述的感光性组合物，其特征在于，

粘合剂是具有酸性基团和聚合性基团的乙烯基共聚物。

15.如权利要求12～14中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

粘合剂是相对于马来酸酐共聚物的酸酐基使0.1～1.2当量的伯胺化合物发生反应而得到的共聚物。

16.如权利要求1～15中任意一项所述的感光性组合物，其特征在于，

粘合剂相对于碱性水溶液显示溶胀性或溶解性。

17.如权利要求16所述的感光性组合物，其特征在于，

粘合剂含有共聚物，该共聚物具有源自苯乙烯和苯乙烯衍生物中的至少一种的结构单元。

18.如权利要求16或17所述的感光性组合物，其特征在于，

粘合剂的玻璃化温度为80℃以上。