[发明专利]时分多工工艺中的用于终点的波长选择有效
| 申请号： | 200680030983.7 | 申请日： | 2006-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN101248507A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 大卫·约翰逊;鲁塞尔·韦斯特曼 | 申请（专利权）人： | 奥立孔美国公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065;B81C1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郑立;林月俊 |
| 地址： | 美国佛*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于在交替循环刻蚀工艺或者时分多工工艺期间建立终点的方法。基板被安放在等离子体腔室中并且经历具有刻蚀步骤和淀积步骤的交替循环工艺。使用已知的发射光谱测定技术监测等离子体发射强度的变化。基于来自刻蚀副产物的等离子体发射选择第一波长区域，并且基于来自等离子体背景的等离子体发射选择第二波长区域。计算第一波长区域相对于第二波长区域的比率，并且使用该比率调节对由时分多工工艺生成的信号的属性进行的监测。当在基于监测步骤的时间处到达终点时，交替循环工艺被中断。 | ||
| 搜索关键词： | 时分 工艺 中的 用于 终点 波长 选择 | ||
【主权项】：
1.一种在时分多工工艺期间建立终点的方法，所述方法包括步骤：使基板经历时分多工工艺；基于来自刻蚀副产物的等离子体发射，选择第一波长区域；基于来自等离子体背景的等离子体发射，选择第二波长区域；计算所述第一波长区域相对于所述第二波长区域的比率；监测由时分多工工艺生成的信号的属性；基于所述计算步骤的所述比率，调节所述监测步骤；使用包络跟随器处理由时分多工工艺生成的周期性信号的所述调节后的属性；并且在基于处理步骤的时间处，中断时分多工工艺。
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