[发明专利]用于储存基片的设备

摘要

在一种用于储存片状的基片(8)，特别是如主要存在于电子元件制造过程中的晶圆或测试晶圆的设备中，即使该设备相互分开的储存元件(1)具有制造误差，也应当可以安全地存取基片(8)。这种设备具有多个沿堆垛方向相继的且可相对运动的分别用于一个基片(8)的储存元件(1)，在这种设备中，储存元件(1)具有堆垛区域(2)，该堆垛区域设计成用于在储存元件(1)堆垛(3)内放置相应的储存元件(1)。因此，本发明针对这种设备提出用于沿堆垛方向补偿堆垛误差的补偿装置(5)。

主权项

1.用于储存片状的基片、特别是如主要存在于电子元件制造过程中的晶圆或测试晶圆的设备，其中，该设备具有多个沿堆垛方向相继的且可相对运动的储存元件，这些储存元件分别用于容纳至少一个基片，这些储存元件分别设有用于支撑基片的装置，这些储存元件具有堆垛区域，该堆垛区域设计成用于在储存元件堆垛内放置相应的储存元件，以及优选地至少其中几个储存元件设计成基本相同，其特征在于用于补偿堆垛误差的补偿装置。