[发明专利]用于储存基片的设备

权利要求书

1.用于储存片状的基片的设备，其中，该设备具有多个沿堆垛方 向相继的且可相对运动的储存元件，这些储存元件分别用于容纳至少一 个基片，这些储存元件分别设有用于支撑基片的装置，这些储存元件具 有堆垛区域，该堆垛区域设计成用于在储存元件堆垛内放置相应的储存 元件，

其特征在于具有补偿装置，该补偿装置能够补偿堆垛误差。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于至少一个储存元件与关 于堆垛轴线在堆垛方向上的期望位置的偏差的补偿装置。

3.如权利要求1-2中的任一项所述的设备，其特征在于至少一个储 存元件与关于横向于堆垛轴线的方向的期望位置的偏差的补偿装置。

4.如权利要求1-2中的一项所述的设备，其特征在于，为了补偿堆 垛误差，储存元件关于其周向相互旋转错开布置。

5.如权利要求4所述的设备，其特征在于，相继的储存元件的三 个或更多个在堆垛中相继布置的储存元件关于堆垛轴线相互旋转错开 放置，其中，这些相继的三个或更多个储存元件中的第一个和最后一个 处于相同的旋转位置上。

6.如权利要求4所述的设备，其特征在于，多个相继的储存元件 相互旋转错开相同的角度值。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，三个或更多个相继的 储存元件分别相互错开相同的角度值。

8.如权利要求1至2中的一项所述的设备，其特征在于包括至少 一个开启装置，借助该开启装置，在布置在储存元件堆垛中的两个储存 元件之间的距离是可变的；以及包括至少一个检测装置，借助该检测装 置可以获得关于单个储存元件在堆垛中的位置的信息，包括控制装置， 位置信息可输送到该控制装置，借助该控制装置，在考虑位置信息的条 件下可以产生控制信号，借助这些控制信号，开启装置和堆垛可以相对 于彼此移动并相对定位在期望位置上。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于，位置信息用于产生堆 垛沿堆垛方向的移动运动。

10.如权利要求8所述的设备，其特征在于，位置信息用于产生开 启装置的移动运动。

11.如权利要求8所述的设备，其特征在于，开启装置设有至少两 个沿堆垛的周向相互错开的开启机构，所述开启机构用于基本上同时与 其中一个储存元件接触，其中，所述至少两个开启机构可以沿堆垛方向 相互独立地移动。

12.如权利要求11所述的设备，其特征在于，所述至少两个开启 机构既可以共同地也可以相互独立地移动。

13.如权利要求8所述的设备，其特征在于至少两个检测装置，在 这些检测装置中，每个检测装置分配给所述至少两个开启机构中的另一 个开启机构，两个检测装置用于确定储存元件的位置信息，其中，检测 装置的位置信息用于产生开启机构之间的相对移动运动。

14.如权利要求1-2中的一项所述的设备，其特征在于，至少每两 个相继布置的储存元件相应地共同形成至少一个用于开启装置的操作 辅助装置。

15.如权利要求14所述的设备，其特征在于，相互堆垛的储存元 件形成至少两个并排设置的操作辅助装置列。

16.如权利要求15所述的设备，其特征在于，两列操作辅助装置 在堆垛轴线的方向上错开在其中一个列中相继的操作辅助装置具有的 距离的一半。

17.如权利要求1-2中的一项所述的设备，其特征在于，操作辅助 装置是啮合槽。

18.特别是根据权利要求1-2中任一项所述的用于储存片状的基片 的设备，其中，该设备具有多个沿堆垛方向相继的且可相对运动的储存 元件，这些储存元件分别用于容纳至少一个基片，这些储存元件分别设 有用于支撑基片的装置，这些储存元件具有堆垛区域，该堆垛区域设计 成用于在储存元件堆垛内放置相应的储存元件，其特征在于用于将介质 导入堆垛中的装置以及设置在堆垛中的导气装置。