[发明专利]具有通过带有相合熔融化合物的颗粒的固相粘结调节的组成的硫属元素化物PVD靶无效
| 申请号： | 200680024824.6 | 申请日： | 2006-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101512037A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | R·拉斯托吉;J·K·卡多库斯;D·L·莫拉莱斯 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温宏艳;韦欣华 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 硫属元素化物PVD部件包括第一固体和第二固体的颗粒的粘结混合物。第一固体含有第一化合物。所述颗粒混合物可以表现出比第一化合物中的元素的固相转变温度高的最小固相转变温度。所述颗粒混合物可以表现出比第一化合物中的元素的固相转变温度低的最大固相转变温度。第一化合物可以是相合熔融的(congruently melting)线性化合物。该粘结的混合物可能缺乏熔融区域或升华间隙。所述颗粒混合物可以表现出包括三种或更多元素的整体式(bulk formula)。所述颗粒混合物可以包括两种或更多线性化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 通过 带有 相合 熔融 化合物 颗粒 粘结 调节 组成 元素 pvd | ||
【主权项】：
1. 硫属元素化物PVD部件，包括：含有第一固体和第二固体的颗粒的粘结混合物的刚性物料；第一固体含有相合熔融的第一线性化合物，第二固体表现出与第一固体不同的组成；且该颗粒混合物表现出包括至少一种选自S、Se和Te的元素的整体式。
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