[发明专利]具有通过带有相合熔融化合物的颗粒的固相粘结调节的组成的硫属元素化物PVD靶

权利要求书

1.硫属元素化物PVD部件，包括：

含有第一固体和第二固体的颗粒的粘结混合物的刚性物料；

第一固体含有相合熔融的第一线性化合物，第二固体表现出与第一固体不同的组成；且

该颗粒混合物表现出包括至少一种选自S、Se和Te的元素的整体式。

2.权利要求1的部件，其中所述整体式包括三种或更多种选自第11-16族中的金属和半金属的元素。

3.权利要求1的部件，其中所述颗粒混合物表现出下列整体式之一，其不表示经验比率：GeSbTe、GeSeTe、GeSbSeTe、TeGeSbS、AgInSbTe或SbGeSeSTe。

4.权利要求1的部件，其中所述颗粒混合物含有下列线性化合物中的两种或多种：GeSe、GeSe₂、GeS、GeS₂、GeTe、Sb₂Se₃、Sb₂S₃和Sb₂Te₃。

5.权利要求1的部件，其中第二固体包含与第一线性化合物不同的相合熔融的第二线性化合物。

6.权利要求1的部件，其中所述颗粒混合物表现出比第一线性化合物中的一种或多种元素的固相转变温度高的最小固相转变温度。

7.权利要求1的部件，其中所述颗粒混合物表现出比第一线性化合物中的一种或多种元素的固相转变温度低的最大固相转变温度。

8.权利要求1的部件，其中所述物料是溅射靶坯并且该部件进一步包含粘合到该坯体上的背板。

9.权利要求1的部件，其中所述物料由没有熔融区域或升华间隙的固相粘结颗粒的混合物构成。

10.硫属元素化物PVD部件，包括：

含有第一固体和第二固体的颗粒的粘结混合物的刚性物料；

第一固体包含第一化合物，第二固体表现出与第一固体不同的组成；

所述颗粒混合物表现出包括至少一种选自S、Se和Te的元素的整体式；

所述颗粒混合物表现出比第一化合物中的一种或多种元素的固相转变温度高的最小固相转变温度。

11.权利要求10的部件，其中整体式包括三种或更多种选自第11-16族中的金属和半金属的元素。

12.权利要求10的部件，其中所述颗粒混合物表现出下列整体式之一，其不表示经验比率：GeSbTe、GeSeTe、GeSbSeTe、TeGeSbS、AgInSbTe或SbGeSeSTe。

13.权利要求10的部件，其中所述颗粒混合物含有下列线性化合物中的两种或多种：GeSe、GeSe₂、GeS、GeS₂、GeTe、Sb₂Se₃、Sb₂S₃和Sb₂Te₃。

14.权利要求10的部件，其中第二固体包含第二化合物，且所述颗粒混合物表现出比第二化合物中的一种或多种元素的固相转变温度低的最大固相转变温度。

15.权利要求10的部件，其中所述物料是溅射靶坯并且该部件进一步包含粘合到该坯体上的背板。

16.权利要求10的部件，其中所述物料由没有熔融区域或升华间隙的固相粘结颗粒的混合物构成。

17.硫属元素化物PVD部件，包括：

含有第一固体、第二固体和一种或多种附加固体的颗粒的固相粘结的均匀混合物的溅射靶坯，所述颗粒混合物缺乏熔融区域或升华间隙；

所述第一、第二和附加固体分别由不同的相合熔融的第一、第二和一种或多种附加线性化合物构成；

所述颗粒混合物表现出包括三种或更多元素的整体式，其中至少一种元素选自S、Se和Te；且

所述颗粒混合物表现出比第一、第二或附加线性化合物中的一种或多种元素的固相转变温度高的最小固相转变温度。

18.权利要求17的部件，其中所述整体式包括五种或更多种选自第11-16族中的金属和半金属的元素。