[发明专利]用于调整多基片探针结构的方法和装置无效
| 申请号： | 200680022671.1 | 申请日： | 2006-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN101203767A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | E·D·霍博斯;B·N·埃尔德瑞格;L·马;G·L·马修;S·T·墨菲;M·S·肖恩迪;A·H·斯洛克姆 | 申请（专利权）人： | 佛姆法克特股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种探针卡组件包括多个连接着安装组件的探针基片。各个探针基片包括一组探针，并且探针基片上的多个探针组一起构成探针阵列，用于连接着被测器件。调整机构构成对各个探针基片施加力，从而相对于安装组件单独移动各个基片。调整机构可以在“x”、“y”和/或“z”方向上平移各个探针基片，并且还可以围绕着上述方向中的任一或者多个方向旋转各个探针基片。调整机构还可以改变一个或者多个探针基片的形状。于是，探针可以相对于被测器件上的触点来对准和/或平整化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调整 多基片 探针 结构 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于接触被测器件的探针卡组件，所述探针卡组件包括：安装结构；探针基片，包括一组被设置成接触被测器件的探针；以及第一移动部件，用于使所述探针基片相对于所述安装结构大致平行地移动的。
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