[发明专利]用于弱减废气的方法及设备无效
| 申请号： | 200680021038.0 | 申请日： | 2006-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN101247879A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | S·罗克斯;B·金斯顿;M·库里;D·克拉克;R·福美伦;B·菲利普;M·霍斯特;S·苏;K·林;M·迈金托什 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/70 | 分类号： | B01D53/70 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本发明的第一态样，提供一第一弱减设备。第一弱减设备包括(1)一氧化单元，适用于接收一半导体组件制程室的流出物流、(2)一第一水洗涤单元，适用于接收氧化单元的流出物流、以及(3)一催化单元，适用于接收第一水洗涤单元的流出物流。本发明尚提供许多其它态样。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 废气 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种弱减设备，其至少包含：氧化单元，其适用以接收来自半导体组件制程室的流出物流；第一水洗涤单元，其适用以接收来自该氧化单元的该流出物流；以及催化单元，其适用以接收来自该第一水洗涤单元的该流出物流。
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