[发明专利]用于弱减废气的方法及设备

权利要求书

1.一种弱减设备，其至少包含：

氧化单元，其适用以接收来自半导体组件制程室的流出物流；

第一水洗涤单元，其适用以接收来自该氧化单元的该流出物流；以及

催化单元，其适用以接收来自该第一水洗涤单元的该流出物流。

2.如权利要求1所述的弱减设备，其中上述的氧化单元用于移除该流出物流中的有害空气污染物(HAPs)及挥发性有机气体(VOCs)。

3.如权利要求2所述的弱减设备，其中上述的催化单元用于移除该流出物流中的全氟化物(PFCs)。

4.如权利要求3所述的弱减设备，其中上述的第一水洗涤单元用于移除该流出物流中的酸性副产物。

5.如权利要求1所述的弱减设备，更包含一第二水洗涤单元，用于接收来自该催化单元的该流出物流。

6.如权利要求1所述的弱减设备，其中上述的弱减装置的整体弱减量大于该氧化单元或该催化单元单独的一弱减量。

7.如权利要求1所述的弱减设备，其中上述的弱减装置用来弱减含卤素的废物流，且该弱减设备的整体弱减量大于该氧化单元的弱减量。

8.如权利要求7所述的弱减设备，其中上述的弱减装置用来弱减含卤素的废物流，且该弱减设备的整体弱减量至少为该氧化单元的弱减量的两倍。

9.如权利要求1所述的弱减设备，其中上述的弱减装置每单位催化剂体积所具的整体弱减量大于该催化单元每单位催化剂体积所具的弱减量。

10.如权利要求9所述的弱减设备，其中上述的弱减装置每单位催化剂体积所具的整体弱减量至少为该催化单元每单位催化体积所具的弱减量的两倍。

11.如权利要求1所述的弱减设备，更包含热交换器，用于于在废物流进入该催化单元之前，先加热该废物流。

12.如权利要求11所述的弱减设备，其中上述的热交换器是利用该氧化单元的已加热废物流，而适用以在该废物流进入该催化单元之前来加热该废物流。

13.如权利要求11所述的弱减设备，其中上述的热交换器是利用该催化单元的已加热废物流，而适用以在该废物流进入该催化单元之前来加热该废物流。

14.如权利要求13所述的弱减设备，其中上述的热交换器包含位于该催化单元内的管状物，用以接收流过该催化单元内的催化剂的废物流。

15.如权利要求15所述的弱减设备，其中上述的催化单元用于相对于该氧化单元移动，以提供对至少该第一水洗涤单元的检修通道。

16.如权利要求1所述的弱减设备，更包含压力调节装置，该压力调节装置连接于该弱减装置的输出处，适用以提供气流或产生负压而将废气流引出该弱减装置外。

17.如权利要求16所述的弱减设备，其中上述的压力调节装置用于调节排放湿气。

18.如权利要求16所述的弱减设备，其中上述的压力调节装置用于稀释该废气流。

19.如权利要求16所述的弱减设备，其中上述的压力调节装置为风箱。

20.如权利要求16所述的弱减设备，其中上述的压力调节装置为引出装置。

21.如权利要求1所述的弱减设备，其中上述的氧化单元为第一弱减系统的一部分，该催化单元为第二弱减系统的一部分，且该第二弱减系统已修改而适于该第一弱减系统。

22.一种弱减设备，其至少包含：

氧化单元，用于接收半导体组件制程室的一流出物流，并弱减该流出物流；

第一水洗涤单元，用于接收该氧化单元的该流出物流，并洗涤该流出物流；

第二水洗涤单元，用于接收该第一水洗涤单元的该流出物流，并洗涤该流出物流；

催化单元，用于接收该第二水洗涤单元的该流出物流，并弱减该流出物流；

第三水洗涤单元，用于接收该催化单元的该流出物流，并洗涤该流出物流；以及

第四水洗涤单元，用于接收该第三水洗涤单元的该流出物流，并洗涤该流出物流。