[发明专利]芯片反转装置和芯片反转方法,及芯片安装设备和芯片安装方法有效
申请号: | 200680019344.0 | 申请日: | 2006-08-16 |
公开(公告)号: | CN101189705A | 公开(公告)日: | 2008-05-28 |
发明(设计)人: | 牧野洋一;壁下朗 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 肖鹂 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在用于固持和垂直反转由结合喷嘴安置的芯片的芯片安装设备的芯片反转装置中,芯片固持于布置在反转构件内的芯片固持单元上,且通过在反转轴上向下旋转该反转构件而被垂直反转。在该反转的芯片被芯片接收单元接收之后,该芯片接收单元降低至缩回位置以使反转构件返回至原始位置。这种状态下,芯片接收单元上升以将芯片置于用于芯片转移动作的高度水平L。结果,反转构件不突出高于芯片转移的高度水平而与其他机构干涉,使得该芯片安装动作变得高效。 | ||
搜索关键词: | 芯片 反转 装置 方法 安装 设备 | ||
【主权项】:
1.一种通过从芯片下侧固持置于水平位置的所述芯片以垂直反转所述芯片的芯片反转装置,包括:反转构件,其上布置有用于固持所述芯片的芯片固持单元,且所述芯片固持单元绕置于所述反转构件端部内的水平反转轴可垂直反转;反转驱动单元,用于在所述反转轴上向下旋转所述反转构件以垂直地改变所述芯片固持单元的取向;芯片接收单元,用于从所述芯片固持单元接收芯片,所述芯片通过改变所述芯片固持单元的取向而从所述芯片固持单元上的朝上位置被垂直反转之后,以朝下位置固持于所述芯片固持单元上;以及移动单元,用于将所述芯片接收单元移动到接收位置,所述芯片接收单元在所述接收位置从所述芯片固持单元以所述朝下位置接收芯片,以及用于将所述芯片接收单元移动到缩回位置,所述芯片接收单元在所述缩回位置不与所述反转构件干涉。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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