[发明专利]倒装附接和底填充半导体装置和方法无效
申请号: | 200680015418.3 | 申请日: | 2006-03-23 |
公开(公告)号: | CN101171677A | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | 渡边雅子;天谷昌纯 | 申请(专利权)人: | 德州仪器公司 |
主分类号: | H01L21/76 | 分类号: | H01L21/76;H01L23/04;H01L23/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 刘国伟 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种半导体装置(1700),其包括具有外形(1711)和多个接触垫(1205)的工件(1201)且进一步包括具有多个端子垫(1702)的外部部件(1701)。这个部件与所述工件间隔开,且所述端子垫分别与所述工件接触垫对齐。回流元件(1203)将所述接触垫的每一者与其各自的端子垫互连。热塑性材料(1204)填充所述工件与所述部件之间的空间,这种材料附着到所述工件、所述部件和所述回流元件。此外,所述材料具有与所述工件的外形大致一致的外形,且大致无空隙地填充空间(1707)。由于所述填充材料的热塑性特性,因此当达到可使所述回流元件回流的温度范围时,可对制成的装置进行再加工。 | ||
搜索关键词: | 倒装 填充 半导体 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种供用作载体的卷带,其包括:聚合物材料的基片,其具有第一和第二表面;第一聚合物粘合剂膜和不同材料的第一箔片,所述第一聚合物粘合剂膜和第一箔片在所述第一和第二表面侧上附接到所述基片,以给所述卷带提供部分厚度;第二聚合物粘合剂膜和不同材料的第二箔片,所述第二聚合物粘合剂膜和第二箔片在所述第二表面侧上附接到所述第一箔片;多个孔,其穿过所述卷带的所述部分厚度;及回流金属元件,其处于所述孔的每一者中,所述元件附着到所述第二聚合物粘合剂膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造