[发明专利]陶瓷蒸发舟、其制造方法及其应用无效
| 申请号： | 200680015097.7 | 申请日： | 2006-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101171361A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | C·莱斯尼亚克;D·朗格;M·塞弗特 | 申请（专利权）人： | ESK陶瓷有限及两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B41/89;C23C14/26;C04B41/90;C04B41/87 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种由导电的陶瓷基体材料制成的用于用金属蒸镀基质的蒸发舟，其特征为：在蒸发舟的进行金属蒸发的表面上设置下列涂层之一：a)元素周期表第4－6副族中的一种过渡金属的至少一种硼化物的涂层，b)待蒸发金属和由至少一种元素周期表第4－6副族中的过渡金属和/或其硼化物的混合物组成的涂层，c)由至少一种元素周期表第4－6副族中的过渡金属和/或其硼化物组成的第一涂层和施加第一涂层上面的由待蒸发金属组成的涂层。本发明的蒸发舟表现出对于待蒸发金属的良好的初始润湿，使得可以进行低飞溅和均匀的蒸发。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 蒸发 制造 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.由导电的陶瓷基体材料制成的用于用金属蒸镀基质的蒸发舟，其特征为：在蒸发舟的进行金属蒸发的表面上设置下列涂层之一：a)元素周期表第4至6副族的一种过渡金属的至少一种硼化物的涂层，b)由待蒸发金属和至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物的混合物组成的涂层，c)由至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物组成的第一涂层和施加在第一涂层上的由待蒸发金属组成的涂层。
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