[发明专利]陶瓷蒸发舟、其制造方法及其应用

权利要求书

1.由导电的陶瓷基体材料制成的用于用金属蒸镀基质的蒸发舟，其特征为：在蒸发舟的进行金属蒸发的表面上设置下列涂层之一：

a)元素周期表第4至6副族的一种过渡金属的至少一种硼化物的涂层，

b)由待蒸发金属和至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物的混合物组成的涂层，

c)由至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物组成的第一涂层和施加在第一涂层上的由待蒸发金属组成的涂层。

2.按权利要求1所述的蒸发舟，其特征为：所述陶瓷基体材料由热压的二硼化钛和氮化硼以及必要时还有氮化铝组成。

3.按权利要求1和/或2所述的蒸发舟，其特征为：涂层具有1-750μm，优选地15-500μm，更优选地50-150μm的平均厚度。

4.按上述权利要求之至少一项所述的蒸发舟，其特征为：所述元素周期表第4至6副族的过渡金属从钛、锆、钒、钼和钨中选择。

5.按上述权利要求之至少一项所述的蒸发舟，其特征为：该蒸发舟设有由硼化钨组成的涂层。

6.用于制造按权利要求1-5之至少一项所述的蒸发舟的方法，其特征为：在陶瓷基体材料上施加涂层材料的悬浮液，接着进行干燥。

7.用于制造按权利要求1-5之至少一项所述的蒸发舟的方法，其特征为：通过等离子喷涂法形成涂层。

8.按权利要求1-5之至少一项所述的蒸发舟用于用金属对基质进行蒸镀的应用。

9.按权利要求8所述的蒸发舟用于用金属对柔性基质进行真空带式蒸镀的应用。