[发明专利]含有气体供应的等离子体光谱学系统有效
申请号: | 200680014982.3 | 申请日: | 2006-03-31 |
公开(公告)号: | CN101171891A | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | M·R·汉默 | 申请(专利权)人: | 美国瓦里安澳大利亚有限公司 |
主分类号: | H05H1/30 | 分类号: | H05H1/30;G01N21/73 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 澳大利亚*** | 国省代码: | 澳大利亚;AU |
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摘要: | 用于样品的光谱化学分析的光谱学系统包括用于生成作为光谱源的微波诱导等离子体(90)的等离子体喷枪(50)。等离子体形成气体是可含有氧气杂质的氮气。因此该系统包括氮气生成器(70),较佳地从压缩机(75)向其供给经压缩的大气空气以通过吸附从空气中去除氧气。本发明允许使用单侧氮气生成器,由于不需要获得瓶装高纯度气体的供应所以节省了成本。 | ||
搜索关键词: | 含有 气体 供应 等离子体 光谱 系统 | ||
【主权项】:
1.一种光谱学系统,包括用于生成作为光谱源的微波诱导等离子体的喷枪,用于生成氮气的供应的生成器,所述生成器连接到所述喷枪,用于提供维持等离子体的氮气,其中所述生成器由大气空气生成氮气。
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