[发明专利]含有气体供应的等离子体光谱学系统

权利要求书

1.一种光谱学系统，包括用于生成作为光谱源的微波诱导等离子体的喷枪，用于生成氮气的供应的生成器，所述生成器连接到所述喷枪，用于提供维持等离子体的氮气，其中所述生成器由大气空气生成氮气。

2.如权利要求1所述的光谱学系统，其特征在于，所述生成器通过从大气空气吸附氧气来工作。

3.如权利要求1或2所述的光谱学系统，其特征在于，包括用于将经压缩的大气空气提供给所述生成器的空气压缩机。

4.如权利要求3所述的光谱学系统，其特征在于，所述生成器包括含氧气吸附介质的第一压力容器，所述经压缩的大气空气通过所述第一压力容器。

5.如权利要求4所述的光谱学系统，其特征在于，包括另一个压力容器，氧气减少并因此富含氮气的空气从所述第一压力容器进入所述另一个压力容器，并且其中从所述另一个压力容器供应用于维持等离子体的氮气。

6.如权利要求5所述的光谱学系统，其特征在于，所述生成器包括包含氧气吸附介质的第二压力容器，并且其中所述生成器包括流量控制阀，由此所述压缩的大气空气首先以预定的时间穿过所述第一压力容器中的氧气吸附介质并随后进入所述另一个压力容器，然后以预定的时间穿过所述第二压力容器中的氧气吸附介质并随后进入所述另一个压力容器。

7.如权利要求6所述的光谱学系统，其特征在于，所述流量控制阀是可操作的，使得在所述压缩空气穿过所述第一压力容器中的氧气吸附介质的同时清除所述第二压力容器中的氧气吸附介质中吸附的氧气，并且在所述压缩空气穿过所述第二压力容器中的氧气吸附介质的同时清除所述第一压力容器中的氧气吸附介质中吸附的氧气。

8.如权利要求1至7中的任一项所述的光谱学系统，其特征在于，从所述生成器提供给所述喷枪的氮气包含约0.1％至约3.0％体积的氧气。

9.如权利要求8所述的光谱学系统，其特征在于，所述氮气包含约0.1％至约2.0％体积的氧气。

10.如权利要求9所述的光谱学系统，其特征在于，所述氮气包含约0.5％至约1.5％体积的氧气。