[发明专利]氧化铈系研磨材料、其制造方法及用途有效
| 申请号： | 200680010945.5 | 申请日： | 2006-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101155891A | 公开（公告）日： | 2008-04-02 |
| 发明（设计）人： | 平岩正;增田知之;别所直纪 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供研磨速度快、可得到伤痕的发生少、表面粗糙度小的高精度研磨面，并且安全、制造工序简便、且廉价的氧化铈系研磨材料及其制造方法。本发明的氧化铈系研磨材料的制造方法，包括：(a)在含铈的轻稀土类盐的水溶液中添加沉淀剂，使轻稀土类的盐析出，得到含有轻稀土类盐粒子的第1浆液的工序；(b)在含有轻稀土类盐粒子的浆液中添加氟化剂，使轻稀土类的盐和氟化剂反应，得到含有轻稀土类氟化物粒子的第2浆液的工序；(c)将第1浆液和第2浆液混合，得到混合浆液的工序；及(d)对混合浆液进行干燥和烧成的工序。另外，本发明的氧化铈系研磨材料，是用该方法制造的。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 研磨 材料 制造 方法 用途 | ||
【主权项】：
1.一种氧化铈系研磨材料的制造方法，其包括：(a)在含铈的轻稀土类盐的水溶液中添加沉淀剂，使轻稀土类的盐析出，得到含有平均粒径为0.1～3μm的轻稀土类盐粒子的第1浆液的工序；(b)在含有平均粒径为0.1～3μm的轻稀土类盐粒子的浆液中添加氟化剂，使轻稀土类的盐和氟化剂反应，得到含有平均粒径为0.1～3μm的轻稀土类氟化物粒子的第2浆液的工序；(c)将上述第1浆液和上述第2浆液混合，得到混合浆液的工序；及(d)对上述混合浆液进行干燥和烧成的工序。
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