[发明专利]感光性树脂组合物及使用它的电路基板有效
| 申请号: | 200680010866.4 | 申请日: | 2006-03-24 |
| 公开(公告)号: | CN101151579A | 公开(公告)日: | 2008-03-26 |
| 发明(设计)人: | 德久极;林健太郎;川里浩信 | 申请(专利权)人: | 新日铁化学株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;C08F290/14;C08G73/10;G03F7/004;G03F7/075;H01L21/027;H05K3/28 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈昕 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明涉及挠性、紫外线显影感度、碱水溶液中的显影性、室温下的保存稳定性优良的感光性树脂组合物及使用它的电路基板。该感光性树脂组合物是在具有下述(1)、(2)和(3)所示结构单元的含硅氧烷的聚酰胺酸树脂中配合光聚合引发剂而成的。该电路基板是在基板上形成该感光性树脂组合物的保护膜而形成的。式中,Ar表示芳香族四羧酸残基、R1表示碳数1~6的烷基或苯基、R2表示碳数2~6的亚烷基或亚苯基、l表示0~10的数、R3表示2价基团或直接键合、R4表示CH2=CH-R6-所示基团、R6表示直接键合、碳数1~6的亚烷基或亚苯基、R5表示二胺残基、表示各结构单元的存在摩尔比的m为0.3~0.95、n为0.05~0.7和o为0~0.5的范围。 | ||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 使用 路基 | ||
【主权项】:
1.感光性树脂组合物,其是相对于100重量份的含有30摩尔%~95摩尔%下述式(1)所示结构单元、5摩尔%~70摩尔%式(2)所示结构单元和0~50摩尔%式(3)所示结构单元的含硅氧烷的聚酰胺酸树脂,配合1~20重量份光聚合引发剂作为必须成分而成的,
其中,Ar表示从芳香族四羧酸中除去了羧基的4价四羧酸残基,R1表示碳数1~6的烷基或苯基,R2表示碳数2~6的亚烷基或亚苯基,l表示0~10的数,R3表示2价基团或直接键合,R4表示CH2=CH-R6-所示基团,R6表示直接键合、碳数1~6的亚烷基或亚苯基,R5表示从二胺化合物中除去了氨基的2价二胺残基、但不为通式(1)和(2)所含的二胺残基;另外,m、n和o表示各结构单元的存在摩尔比,m为0.3~0.95、n为0.05~0.7、o为0~0.5的范围。
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