[发明专利]具有限流器的质量流量检验器有效
| 申请号： | 200680009641.7 | 申请日： | 2006-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN101160508A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | A·沙吉;D·史密斯 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01F1/12 | 分类号： | G01F1/12;G01F1/50;G01F25/00;G01L27/00;G06F19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于对设备进行的流体流率的测量进行检验的流量检验器，该流量检验器包括限流器，该限流器使流率检验基本上不受限流器上游元件的影响。该流量检验器包括容器，其接收从所述设备流出的流体；以及压力传感器，其测量所述容器内的流体压力。出口阀调节流体从容器中流出。限流器位于流体的流路上，靠近容器且位于容器的上游。限流器对流体的流动进行限制，以便在所述流体的流路中产生冲击，并且还用于在在足以使流率检验基本上不受限流器上游的元件影响的时间段内维持所述冲击。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 限流 质量 流量 检验 | ||
【主权项】：
1.一种用于对设备进行的流体流率的测量进行检验的流量检验器，包括：容器，配置为用于接收从所述设备流出的所述流体；以及压力传感器，配置为用于测量所述容器内的所述流体的压力；以及沿着所述流体的从所述设备到所述容器的流路上配置的限流器，该限流器靠近所述容器且位于所述容器的上游；其中，将所述限流器配置为限制所述流体沿所述流路流动，以便在所述流路中引起冲击，并且还将所述限流器配置为在足以使所述流率检验基本上不受所述限流器上游的元件影响的时间段期间维持所述冲击。
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