[发明专利]具有限流器的质量流量检验器

权利要求书

1.一种用于对设备进行的流体流率的测量进行检验的流量检验器，包括：

容器，配置为用于接收从所述设备流出的所述流体；以及

压力传感器，配置为用于测量所述容器内的所述流体的压力；以及

沿着所述流体的从所述设备到所述容器的流路上配置的限流器，该限流器靠近所述容器且位于所述容器的上游；

其中，将所述限流器配置为限制所述流体沿所述流路流动，以便在所述流路中引起冲击，并且还将所述限流器配置为在足以使所述流率检验基本上不受所述限流器上游的元件影响的时间段期间维持所述冲击。

2.根据权利要求1所述的流量检验器，其中，所述限流器还被配置为通过使得所述限流器上游的元件与所述容器之间的所述流体的整体速度变成超声速来产生冲击，并且在所述时间段期间保持所述流体的所述整体速度为超声速，以便进入所述容器中的所述流体的流率在所述时间段期间基本上保持恒定。

3.根据权利要求1所述的流量检验器，还包括被配置为调节所述流体从所述容器的出口流出的出口阀；并且

其中，所述限流器还被配置为：在进入所述容器中的所述流体的流率已经达到稳定状态并且所述出口阀已经关闭而使所述容器内的所述流体的压力开始上升之后，在所述流路中产生冲击。

4.根据权利要求1所述的流量检验器，其中所述限流器包括下面中的至少一个：

毛细管；

多孔塞；

节流孔；

可调节阀；以及

喷嘴。

5.根据权利要求1所述的流量检验器，其中，所述限流器包括可调节限流器，其用于基于一个或者多个因素对所述流体的限流进行调节。

6.根据权利要求5所述的流量检验器，其中所述一个或者多个因素包括：

进入所述容器内的所述流体的流率；

所述流体的分子量；以及

所述流体的比热比。

7.根据权利要求1所述的流量检验器，还包括：

温度传感器，其被配置为测量所述容器内的所述流体的温度；以及

控制器，其被配置为控制所述出口阀，该控制器还被配置为通过在关闭所述出口阀之后的所述时间段期间测量所述容器内的所述流体的压力的上升率，并且使用所测得的上升率来计算从所述设备中流出的所述流体的流率，来对所述设备进行的所述流体流率的测量进行检验。

8.根据权利要求7所述的流量检验器，其中，所述控制器还被配置为使用公式来计算从所述设备流出的所述流体的流率，该公式包括：

Q＝(V/T)(T_STP/P_STP)(ΔP/Δt)

式中，V是所述容器的容积，T是所述容器内的所述流体的温度，T_STP是定义为0℃和大约273.15K的标准温度，P_STP是定义为1atm的标准压力，而(ΔP/Δt)是在所述时间段期间所述流体的压力上升率。

9.根据权利要求7所述的流量检验器，其中，所述时间段由下面的公式得出：

t＝(V/A_t)[γ+1)/c ]-(P_i/P_STP)(VT_STP/QT)

式中：

t是所述时间段；

V是所述容器的所述容积；

c是紧挨着所述冲击的冲击前沿上游的声速；

A_t是所述限流器的横截面积；

γ是气体的比热比；

P_i是在所述时间段开始时的所述容器内的初始压力；

P_STP是标准压力；

T_STP是标准温度；

Q是所述流体进入所述容器内的体积流率；以及

T是所述容器内的所述流体的温度。

10.根据权利要求1所述的流量检验器，其中，所述设备包括下面中的至少一个：

MFC(质量流量控制器)；以及

MFM(质量流量计)。

11.根据权利要求1所述的流量检验器，其中，所述限流器上游的元件包括下面中的至少一个：

外部管路部件；

外部容积；以及

节流孔。