[发明专利]修正激光处理系统中的系统误差的方法

摘要

一种在三个维度上校正激光微加工系统(20)的方法，其包含：扫描(70)样本工件(22)以决定3D表面；按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描数据的最佳拟合表面；以及储存(84)此结果，因而可对后续工件进行校正，以移除由相关的材料处置子系统内的偏差所引入的系统误差。该方法可视需要利用平板弯折理论以将粒子污染模型化，并利用样条函数以片段方式拟合该3D表面，以最小化局部偏差对整个表面拟合的影响。

主权项

1.一种校正工件处理系统的方法，该系统包含：含有具已知位置的基准点的工件；握持该工件的卡盘；发射激光束的激光器以及将该激光束导引至该工件的光学组件；材料处置子系统；以及控制子系统，其命令该材料处置子系统、该光学组件或两者，以将特定点沿该激光束而导引至该工件上的特定点，用以补偿在该激光束与该工件间的关系中的系统误差，此方法包含：在多个位置执行工件的3D测量，以建构出对应于该工件的3D图数据；通过比较该3D图上的所测基准点的位置与它们的已知位置，来修正在X及Y位置上的误差；对该3D图数据计算出第一最佳拟合表面；通过第一表面减法运算以移除第一误差，此减法运算包含从该3D图数据中减去该第一最佳拟合表面以形成第一剩余值；对由该第一表面减法运算所形成的第一剩余值，计算第二最佳拟合表面；通过第二表面减法运算以移除第二误差，此减法运算包含从该第一剩余值中减去该第二最佳拟合表面以形成第二剩余值；将由第二表面减法运算所形成的第二剩余值分成多个较小、相邻区域；对这些多个区域的每一个区域计算出局部性的最佳拟合表面，以形成相对应的局部表面；将X及Y位置修正、该第一最佳拟合表面、该第二最佳拟合表面与这些局部表面合并成为校正图；以及利用该校正图以估计在该激光束与该工件间的关系的误差。