[发明专利]具有电子发射体的准分子激光器有效
| 申请号： | 200680006520.7 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN101133528A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | M·斯金纳;M·诺伊斯塔德特 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H01S3/038 | 分类号： | H01S3/038 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;张志醒 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文描述用于准分子激光器的设备、系统和方法，所述准分子激光器具有激光气体和在施加发射电压时发射电子的电子发射体。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电子 发射 准分子激光 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：第一电极；第二电极，与第一电极隔开，包括适合于在施加发射电压时发射电子的多个电子发射体；和激光气体，置于第一电极和第二电极之间。
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