[发明专利]检查系统和设备

摘要

一种用于识别样本表面上的缺陷或污染的方法和系统。该系统通过经由vCPD和nvCPD检测表面上功函数的改变而工作。它利用非接触电位差(nvCPD)传感器对整个样本上的功函数变化成像。数据是微分数据，因为它代表样本表面上的功函数(或几何形态或表面电压)的改变。vCPD探头被用来确定样本表面上的特定点的绝对CPD数据。振动和非振动CPD测量模式的结合实现对整个样本均匀性的快速成像以及检测在一点或多点上的绝对功函数的能力。

主权项

1.一种用于材料的在线处理的系统，包括具有使用至少一个接触电位差(CPD)传感器的传感器系统和用于接纳材料的材料平台的处理系统，所述材料平台可与所述材料以及与传感器系统和材料平台通信的定位组件接合，从而所述传感器系统和材料可相对彼此移动；改进包括：所述传感器系统，具有振动接触电位差(vCPD)传感器模式和非振动接触电位差(nvCPD)传感器模式；非振动接触电位差探头，被配置为响应于因所述非振动接触电位差探头和所述材料的相对运动产生的接触电位差的改变，产生反映所述材料的特性的相对接触电位差数据；振动接触电位差探头，被配置为当被放置在材料表面上的至少一点的上方时产生反映所述材料的表面特征的绝对接触电位差值；计算机系统，与所述接触电位差传感器系统通信，从而相对接触电位差数据和绝对接触电位差数据由探头输出到计算机；以及显示器，提供由所述计算机系统生成的并代表所述绝对和相对接触电位差数据的、反映所述材料上的化学污染物和它们的空间分布的可视图像。