[实用新型]一种生长砷化镓单晶的抽真空装置无效
| 申请号： | 200620160774.1 | 申请日： | 2006-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN200992590Y | 公开（公告）日： | 2007-12-19 |
| 发明（设计）人： | 孙强;周传新;王建利 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42;C30B35/00 |
| 代理公司： | 信息产业部电子专利中心 | 代理人： | 梁军 |
| 地址： | 300220天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种生长砷化镓单晶的抽真空装置，包括抽真空系统、加热系统和容器支撑系统。加热系统包括加热器和加热器升降装置，加热器升降装置由涡轮、导轨和升降手轮组成；容器支撑系统由底座、固紧螺钉、轴承座、滚动轴承、旋转手轮、支撑杆和支撑托组成，旋转手轮和滚动轴承配合固定在轴承座上，轴承座通过固紧螺钉固定在底座上，旋转手轮用于带动整个容器支撑系统旋转，支撑杆垂直固定在旋转手轮上，支撑杆穿过加热器底部的孔，支撑托固定在支撑杆上，用于放置待抽真空的容器。采用这种改造结构的抽真空装置后，在砷化镓单晶生长工艺中可提供加热处理，能有效去除真空容器内的气态杂质，同时还可以提高密封容器的真空度。在多温区电阻丝加热器的内壁增设马弗管后，可以提高加热器内部热场的均匀性，使得加热效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 砷化镓单晶 真空 装置 | ||
【主权项】：
1、一种生长砷化镓单晶的抽真空装置，包括由橡皮管(20)、容器帽(2)、机械泵(17)、三通阀(18)和扩散泵(19)组成的抽真空系统，橡皮管(20)、机械泵(17)和扩散泵(19)通过三通阀(18)连接在一起，橡皮管(20)的另一端与容器帽(2)相连接，其特征在于还包括加热系统和容器支撑系统；所述加热系统包括加热器(4)和加热器升降装置，加热器升降装置由导轨(5)、涡轮(6)和升降手轮(7)组成，涡轮(6)和升降手轮(7)都固定在加热器(4)上，转动升降手轮(7)带动涡轮(6)旋转，涡轮(6)和导轨(5)配合带动加热器(4)升降；所述容器支撑系统用于支撑待抽真空的容器(3)，由底座(10)、轴承座(12)、滚动轴承(14)、支撑杆(15)、旋转手轮(17)和支撑托(9)组成，旋转手轮(17)和滚动轴承(14)配合固定在轴承座(12)上，轴承座(12)固定在底座(10)上，旋转手轮(13)用于带动整个容器支撑系统旋转，进而带动待抽真空的容器(3)旋转，支撑杆(15)垂直固定在旋转手轮(13)上，支撑杆(15)穿过加热器(4)底部的孔，支撑托(9)固定在支撑杆(15)上，用于放置待抽真空的容器(3)。
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