[实用新型]一种生长砷化镓单晶的抽真空装置

权利要求书

1、一种生长砷化镓单晶的抽真空装置，包括由橡皮管(20)、容器帽(2)、机械泵(17)、三通阀(18)和扩散泵(19)组成的抽真空系统，橡皮管(20)、机械泵(17)和扩散泵(19)通过三通阀(18)连接在一起，橡皮管(20)的另一端与容器帽(2)相连接，其特征在于还包括加热系统和容器支撑系统；

所述加热系统包括加热器(4)和加热器升降装置，加热器升降装置由导轨(5)、涡轮(6)和升降手轮(7)组成，涡轮(6)和升降手轮(7)都固定在加热器(4)上，转动升降手轮(7)带动涡轮(6)旋转，涡轮(6)和导轨(5)配合带动加热器(4)升降；

所述容器支撑系统用于支撑待抽真空的容器(3)，由底座(10)、轴承座(12)、滚动轴承(14)、支撑杆(15)、旋转手轮(17)和支撑托(9)组成，旋转手轮(17)和滚动轴承(14)配合固定在轴承座(12)上，轴承座(12)固定在底座(10)上，旋转手轮(13)用于带动整个容器支撑系统旋转，进而带动待抽真空的容器(3)旋转，支撑杆(15)垂直固定在旋转手轮(13)上，支撑杆(15)穿过加热器(4)底部的孔，支撑托(9)固定在支撑杆(15)上，用于放置待抽真空的容器(3)。

2、根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于：加热器(4)为多温区电阻丝加热器，在加热器(4)的侧面，每个温区设置有一个热偶孔(16)。

3、根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于：所述多温区电阻丝加热器为四温区电阻丝加热器，在四温区电阻丝加热器的侧面设置有四个热偶孔(16)。

4、根据权利要求2或3所述的抽真空装置，其特征在于：在所述多温区电阻丝加热器的内壁，设置有用于提高加热器内部热场均匀性的马弗管(8)。

5、根据权利要求1或2或3所述的抽真空装置，其特征在于：所述待抽真空的容器(3)为石英坩埚，所述容器帽(2)为石英坩埚帽；

在石英坩埚帽顶部的石英玻璃管上设置有一处外径略小的细颈(1)，以方便烧结石英坩埚和石英坩埚帽的操作。

6、根据权利要求4所述的抽真空装置，其特征在于：所述待抽真空的容器(3)为石英坩埚，所述容器帽(2)为石英坩埚帽；

在石英坩埚帽顶部的石英玻璃管上设置有一处外径略小的细颈(1)，以方便烧结石英坩埚和石英坩埚帽的操作。