[实用新型]一种柔性带状物表面金属镀膜设备无效
| 申请号： | 200620085537.3 | 申请日： | 2006-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN200958114Y | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 毕研文;王乃用;宋小斌;张强;江衍勤 | 申请（专利权）人： | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 274000山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种柔性带状物表面金属镀膜设备。被镀物由放卷轴出发，经由导向轴，再由牵引轴，然后再经由过渡轴卷绕在收料轴上，在这个卷放过程当中，被镀物经过靶极的溅射区，由两组靶极同时对被镀物的两面进行溅射镀膜，一次性完成对被镀物的双面金属化涂层的镀制。该专用设备，包括真空室及与真空室相连接的真空系统，真空室上设有靶极移动门和传动移动门，靶极移动门上安装有磁控溅射靶极，传动移动门上安装有被镀物的卷绕机构。本实用新型生产效率高，成本低，适合于工业化生产；由于两组靶极采用固定与旋转靶极组合使用，所以镀制的膜层均匀，且镀透性良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 带状 表面 金属 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种柔性带状物表面金属镀膜设备，包括真空室(13)及与真空室(13)相连接的真空系统，其特征在于：真空室(13)上设有靶极移动门(12)和传动移动门(14)，靶极移动门(12)上安装有磁控溅射靶极(4)，传动移动门(14)上安装有被镀物的卷绕机构。
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